SIOS量塊檢測(cè)站EPP

用于校準(zhǔn)平行量塊的量塊測(cè)試站 EPP 使用激光干涉測(cè)量探頭 LM 20 作為上測(cè)量探頭。測(cè)量范圍為 20 mm，分辨率為 1 nm。Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig 確定了一個(gè)該探頭的量塊校準(zhǔn)的測(cè)量偏差小于 10 nm。根據(jù) PTB 的建議，對(duì)于 122 塊量塊組，所需的標(biāo)準(zhǔn)量塊數(shù)量可以減少到 15 個(gè)。量塊檢查裝置的線(xiàn)性誤差（未對(duì)準(zhǔn)、探頭未對(duì)準(zhǔn)、溫度影響）可以通過(guò)校準(zhǔn)程序確定和校正。量塊測(cè)試站的便捷操作以及測(cè)量值的校正、評(píng)估和輸出通過(guò)帶有“PEKAL”軟件（平行量塊校準(zhǔn)）的PC進(jìn)行。

校準(zhǔn)一套 122 件套只需大約 15 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)件

由于重新校準(zhǔn)工作量低而節(jié)省成本

通過(guò)用戶(hù)指導(dǎo)的測(cè)量過(guò)程和少量標(biāo)準(zhǔn)量塊節(jié)省測(cè)量時(shí)間

可以校準(zhǔn)不尋常的標(biāo)稱(chēng)尺寸和材料

整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)的高線(xiàn)性度

在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)恒定的測(cè)針測(cè)量力

使用“PEKAL”評(píng)估軟件校正測(cè)試對(duì)象和常溫